포트폴리오
투자기업
(주)파이렉스
설명 가능한 지능형 이상 감지 플라즈마 센서
- 2026
- 기타
- A단계
회사소개
(주)파이렉스는 지능형 플라즈마 센서를 개발하는 기업입니다. 식각, 증착 등 반도체 및 디스플레이 제조공정의 핵심 장비기업에서 기술의 효용성을 검증하였고, 국내 Top-tier 양산공정에서도 기술검증을 진행하고 있습니다.
+ 주요연혁
▶ 2026년 1월 26일 파이렉스 법인 설립
▶ 2026년 4월 딥사이언스 과제 수주 및 Seed 투자 유치
사업 및 기술소개
+ 기술소개
▶ 비침습, 고감도 센서와 물리기반 가상계측 기술을 결합하여 플라즈마 핵심공정의 보이지 않던 부분의 실시간 시각화 및 설명 가능한 이상감지 기술 제공
+ 사업목표
▶ 산업스케일에서 작동하는 시장 혁신형 스케일럽 기술 개발
▶ 지능형 플라즈마 모니터링 기술 개발
▶ 지능형 플라즈마 장비 개발
+ R&D 진행과제
▶ 미세 반도체/디스플레이 플라즘 공정에서 발생하는 미세한 물리적 상태 변화를 실시간으로 정량 계측할 수 있는 물리기반 센서 원천기술 개발
+ 핵심인력
▶ 윤정식 대표이사 : 한양대학교 물리학/정부출연연구소 경력 23년/플라즈마 물리, 데이터 분석 전문가
▶ 유우종 이사 : 성균관대 경영학/1조원 규모의 펀드 조성 및 약 500억원의 투자실적